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寫真化學(xué)膜厚測量裝置
- 產(chǎn)品型號(hào)：反射/透射
- 更新時(shí)間：2024-03-21
- 產(chǎn)品介紹：寫真化學(xué)膜厚測量裝置分為：標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)、紅外透射式型號(hào)、自動(dòng)映射膜厚儀、成像膜厚儀
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產(chǎn)品介紹
寫真化學(xué)膜厚測量裝置
標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)可測量膜厚對(duì)象：
抗蝕劑厚度
多孔膜
ITO
多晶硅
電池電極
玻璃粘合晶片
端點(diǎn)檢測
貼合晶片等
自動(dòng)映射膜厚儀
可測量膜厚對(duì)象：
抗蝕劑厚度
貼合晶片
多孔膜
ITO
多晶硅
電池電極
玻璃粘合晶片
帶圖案晶片等
分為：標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)、紅外透射式型號(hào)、自動(dòng)映射膜厚儀、成像膜厚儀
寫真化學(xué)膜厚測量裝置
通用型膜厚監(jiān)視器(標(biāo)準(zhǔn)型號(hào))
● 可用作端點(diǎn)監(jiān)視器
● 也可以對(duì)應(yīng)粘接劑層、玻璃層等通常較難測量的材料
通用型膜厚監(jiān)視器(紅外透射式型號(hào))
● 對(duì)應(yīng)反射弱的薄膜材料
● 可對(duì)應(yīng)卷對(duì)卷測量
自動(dòng)映射膜厚儀
● 除了高速自動(dòng)映射、等高線、3D圖顯示之外，還自動(dòng)解析直方圖等統(tǒng)計(jì)信息
● 標(biāo)準(zhǔn)對(duì)應(yīng)φ100～300mm的圓形晶圓，也可對(duì)應(yīng)方形被測物等特殊形狀，可選配定制載物臺(tái)板
● 可對(duì)應(yīng)選配項(xiàng)目中的自動(dòng)校準(zhǔn)
成像膜厚儀
● 微細(xì)二維膜厚分布原位的可視化
● 通過在GUI上區(qū)域，計(jì)算微小區(qū)域的膜厚